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  • 一種新型的耐高溫碳化硅超結(jié)晶體管
    一種新型的耐高溫碳化硅超結(jié)晶體管
  • 一種新型的耐高溫碳化硅超結(jié)晶體管
  •   發(fā)布日期: 2018-11-01  瀏覽次數(shù): 2,517

      基于硅(Si)半導(dǎo)體材料的功率器件的性能逐漸接近材料理論極限,很難通過技術(shù)革新和工藝改進(jìn)獲得器件性能的大幅度提升,以碳化硅SiC(Silicon Carbide)為代表的寬禁帶半導(dǎo)體材料制作的新型功率器件應(yīng)運(yùn)而生。與傳統(tǒng)硅器件相比,碳化硅功率器件具有導(dǎo)通電阻低、擊穿電壓高、結(jié)-殼熱阻低、極限工作溫度高等優(yōu)點(diǎn)。目前商業(yè)化的SiC功率器件主要有SiC MOSFET和SiC JFET,但SiC MOSFET存在柵極氧化層可靠性問題,SiC JFET存在某些類型是常通器件不便于使用和溫度系數(shù)偏大等問題。傳統(tǒng)Si BJT由于驅(qū)動復(fù)雜、存在二次擊穿等問題,已逐漸淡出電力電子變換器應(yīng)用場合。但隨著SiC器件研究熱潮的掀起,SiC BJT表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。SiC SJT是超高電流增益的常斷型SiC三極管,不存在傳統(tǒng)Si三極管的二次擊穿問題,其反向偏置安全工作區(qū)呈矩形,具有很低的導(dǎo)通壓降Vds(on),開關(guān)速度快,工作頻率可達(dá)數(shù)10 MHz,且具有300℃以上高溫工作能力。這種晶體管應(yīng)用于功率電子電路,可以顯著提高整機(jī)效率,縮小系統(tǒng)尺寸,減少元件數(shù),減輕散熱負(fù)擔(dān)。

     

      為了正確理解和應(yīng)用SiC SJT,本文對SiC SJT的特性與參數(shù)進(jìn)行了深入的分析,并對目前業(yè)界最好水平的幾種1200V耐壓Si IGBTs進(jìn)行了針對性比較研究。這3種Si IGBT為①NPT1:125℃/1200V/14A定額硅非穿通型IGBT;②NPT2:150℃/1200V/10A定額硅非穿通型IGBT;③TFS:175℃/1200V/15A 額定硅TrenchStop IGBT。3 種IGBT的封裝內(nèi)都集成了反并聯(lián)的快恢復(fù)二極管。

     

      1SiC SJF的靜態(tài)特性

      1.1 通態(tài)特性

      SiC SJT的典型輸出特性如圖1所示,SiC SJT的漏源偏置電壓接近零,飽和區(qū)不明顯,在飽和區(qū)不同柵極電流下的I-V曲線并不在飽和區(qū)的重合。這兩個特點(diǎn)表明SiC SJT在漂移區(qū)中缺乏電荷存儲,這與傳統(tǒng)的Si三極管有較大差異。SiC SJT的這種固有特性使其在不同溫度下都可以獲得較快的開關(guān)速度,開關(guān)速度受溫度影響較小。

    1200V/7A SiC SJT隨溫度變化的輸出特性曲線 
    圖1 1200V/7A SiC SJT隨溫度變化的輸出特性曲線

     

      在相同的溫度下,SiC SJT的通態(tài)壓降比Si IGBT的低,在25℃時其壓降Vds(on)為1.5 V,在125℃時為2.5 V(漏電流為7A)。與多數(shù)載流子器件的特性相似,SiC SJT的導(dǎo)通壓降Vds(on)呈正溫度系數(shù),這使其易于并聯(lián)擴(kuò)容。文中1200V/7A 定額的SJT 在25℃工作溫度下其導(dǎo)通電阻值為235 m?(柵極電流為400mA)。當(dāng)結(jié)溫從25℃增加到250℃時,最大電流增益從72下降到39,見圖2。

    1200V/7A SiC SJT源電流增益與導(dǎo)通電阻隨溫度變化特性曲線 
    圖2 1200V/7A SiC SJT源電流增益與導(dǎo)通電阻隨溫度變化特性曲線

     

      1.2 阻斷特性

      如圖3所示,為SiC SJT的阻斷特性。這種SiC SJT額定阻斷電壓為1200V,在325℃高溫時,漏電流仍較低,小于100µA 。

    1200V/7A SiC SJT門極開路阻斷特性曲線 
    圖3 1200V/7A SiC SJT門極開路阻斷特性曲線

     

      圖4給出SiC SJT與Si-IGBT在不同溫度情況下測得的漏電流。Si-IGBT在超過175℃結(jié)溫后漏電流太大,不能正常工作,而SiC SJT可達(dá)325℃,受現(xiàn)有封裝技術(shù)的限制,未能進(jìn)一步增加工作溫度。與Si-IGBT對比,SiC SJT的漏電流隨溫度增加的速率較低。

    SiC SJT與Si-IGBT的漏電流與溫度關(guān)系曲線對比 
    圖4 SiC SJT與Si-IGBT的漏電流與溫度關(guān)系曲線對比

     

      2SiC SJT的門極控制特性

      SiC SJT既可以工作于門極電流控制模式(如圖1),也可以工作于門極電壓控制模式(如圖5)。

    1200V/7A SiC SJT在柵極電壓控制模式下的輸出特性曲線(25℃) 
    圖5 1200V/7A SiC SJT在柵極電壓控制模式下的輸出特性曲線(25℃)

     

      圖5給出1200V/7A定額的SJT在門極電壓模式控制下測得的輸出特性,在門極電壓VGS=4V時,SiC SJT可以獲得7A的額定電流。這一驅(qū)動電壓值比驅(qū)動SiC MOSFET所需的典型電壓值20V要小得多。圖6給出7A SiC SJT不同溫度下的轉(zhuǎn)移特性。室溫下(25℃),7A電流處的小信號跨導(dǎo)為7.4 S,當(dāng)溫度為125℃時,跨導(dǎo)降為7.1S。25℃時,門極門檻電壓為2.8 V,250℃時門檻電壓降為2.4 V。圖中轉(zhuǎn)移特性在更高電流下出現(xiàn)飽和現(xiàn)象是因?yàn)橛糜跍y試的波形記錄器的門極驅(qū)動電路功率限制所致。

    不同溫度下1200V/7A SiC SJT的轉(zhuǎn)移特性 
    圖6 不同溫度下1200V/7A SiC SJT的轉(zhuǎn)移特性

     

      3. SiC SJT的開關(guān)特性

      采用雙脈沖電路對SiC SJT和Si-IGBT的開關(guān)特性進(jìn)行了測試。圖7、圖8分別給出開通過程和關(guān)斷過程中不同器件組合下的開關(guān)能量測試結(jié)果。SiC SJT的開通時間和關(guān)斷時間表現(xiàn)出良好的溫度穩(wěn)定性,在25℃~250℃范圍內(nèi),開通時間保持在12ns左右,關(guān)斷時間保持在14 ns左右,與其它器件組合相比,開關(guān)能量低很多。

    在不同工作溫度下SiC SJT和SiC IGBTs導(dǎo)通能量對比 
    圖7 在不同工作溫度下SiC SJT和SiC IGBTs導(dǎo)通能量對比
    在不同工作溫度下SiC SJT和Si IGBTs關(guān)斷能量對比 
    圖8 在不同工作溫度下SiC SJT和Si IGBTs關(guān)斷能量對比

     

      圖9給出所有器件組合在fs=100 kHz,占空比D=0.7時的損耗對比結(jié)果。SiC SJT在250℃時的門極驅(qū)動損耗、導(dǎo)通損耗和開關(guān)損耗分別為5.25 W、26.65 W和20 W。雖然SiC SJT的驅(qū)動損耗比Si-IGBT的驅(qū)動損耗高得多,但其對總損耗的影響較小。采用全SiC器件組合(SiC SJT與SiC Doide)比全Si器件組合(Si IBGT與Si Doide)的損耗至少降低了50%。

    SiC SJT和Si-IGBT在各自最大工作溫度下的整體損耗比較 
    圖9 SiC SJT和Si-IGBT在各自最大工作溫度下的整體損耗比較

     

      4安全工作范圍

      4.1 反向偏置安全工作區(qū)

      傳統(tǒng)的Si BJT因存在二次擊穿問題,限制了高壓工作時的最大電流。然而SiC SJT具有接近理想矩形的反向偏置安全工作區(qū)。圖10和圖11給出兩種極端情況下關(guān)斷安全工作區(qū)的測試結(jié)果。圖10對應(yīng)額定漏極偏置電壓(800 V)、3倍額定漏極電流(22A);圖11對應(yīng)額定電流7A、更高的漏極偏置電壓1250V。由圖10和圖11可見,SiC SJT在超高的漏極電流和漏極電壓偏置下仍能安全關(guān)斷,這也同時可推斷出SiC SJT具有理想的矩形反偏安全工作范圍。

    1200V/7A SiC SJT在高電流(22A)下關(guān)斷時的波形 
    圖10 1200V/7A SiC SJT在高電流(22A)下關(guān)斷時的波形
    1200V/7A SiC SJT在高電壓(1250 V)下關(guān)斷時的波形 
    圖11 1200V/7A SiC SJT在高電壓(1250 V)下關(guān)斷時的波形

     

      4.2 短路安全工作區(qū)

      采用1200V/7A SiC SJT進(jìn)行的短路能力測試和雪崩特性測試結(jié)果如圖12和圖13所示。SiC SJT在漏極電壓為800 V,門極電流為0.2A時切換到短路狀態(tài),短路電流達(dá)到13A,持續(xù)了22µs。這比SiC MOSFET通常能夠承受的10µs短路典型時間要長得多。在這樣的短路條件下,SiC SJT直到持續(xù)25µs時才損壞。額定電流為7A的SiC SJT在7A電流和1mH電感下,進(jìn)行鉗位開關(guān)轉(zhuǎn)換工作,單脈沖雪崩能量EAS達(dá)到20.4 mJ。

    1200V/7A SiC SJT在800V漏偏壓和0.2A門極電流時承受短路22μs的波形 
    圖12 1200V/7A SiC SJT在800V漏偏壓和0.2A門極電流時承受短路22µs的波形
    1200V SJT在漏電流為7A時的單脈沖雪崩能量 
    圖13 1200V SJT在漏電流為7A時的單脈沖雪崩能量

     

      5結(jié)論

      通過對1200V/7A SiC超結(jié)晶體管(SJT)和三種一流的商業(yè)用Si IGBTs的電氣性能的比較,可得SiC SJT具有更低的漏電流、電阻和開關(guān)時間。同時更寬的工作溫度范圍,更高的電流增益,更長的短路承受時間和方形反向偏置安全工作區(qū)使得其能夠工作在更多的場合。除此之外,相較于Si IGBTs,SiC SJT能有效地大幅降低能量損耗。




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